设备型号：

Veeco/Spector 1.5

核心功能：

高精度离子束溅射镀膜、原位基材清洗预处理、多材质薄膜稳定沉积；

可实现致密、高均匀性、低粗糙度SiO₂、TiO₂、Ta₂O₅单层膜制备，辅助离子源实现膜层精细修整与化学计量比精准调控，保障薄膜性能一致性。

核心优势：

1. 多尺寸兼容，高效适配

搭载行星夹具+高速夹具双配置，支持标准尺寸晶圆样品镀膜，满足多规格、小批量、高精度量产需求。

2. 原子级精度，极致均匀

· 高速夹具：25 mm环带内光学均匀性≤0.1%；

· 行星夹具：8寸晶圆片内光学均匀性≤1%，片间光学均匀性≤0.6%；

· 双光学监控：激光光控（高速夹具）的监测波长范围满足1480 nm-1640 nm，波长精度可达+0.01 nm，宽光谱光控（行星夹具）的监测波长范围满足400 nm-1050 nm，光谱分辨率可达1.5 nm；

· 可沉积DWDM滤光片，薄膜层数≥140层，满足超多层高精度光学镀膜要求。

应用场景：

专注氧化物光学薄膜沉积，面向高均匀性、高致密性需求场景：

· 窄带/超窄带滤光片、宽带滤光片；

· 长波通/短波通滤光片；

· EDFA平滑滤光片、调谐滤光片；

· 可调谐激光器器件。

特色工艺案例：

1、短波滤光片

2、密集波分复用（DWDM）滤光片