甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台(简称“微纳平台”)聚焦“芯片异构集成”与“微纳光学”两大方向，致力于成为支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、链接并赋能产研生态的开放共享科创服务平台。

     微纳平台位于甬江实验室创园，建筑面积12,000平方米，其中洁净室面积6,000平方米，拥有一流的基础设施、先进的制程工艺，已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条，配备了165台(套)高端精密设备。平台围绕半导体关键共性核心技术的研发与应用，构建从材料制备到晶圆制造、器件封装、测试分析及可靠性验证的全流程服务；涵盖多材料异构集成、光学器件、硅基MEMS、生物芯片等领域；具备多工艺、多材料、多尺寸的兼容性，能满足高精度对准、低温键合、高光洁度刻蚀、高深宽比刻蚀等技术要求，并能提供先进稳定的工艺设计套件和高工业参考价值的系统解决方案。

     微纳平台坚持开放共享，恪守“中立”原则，尊重和保护知识产权。平台下设单步工艺、工艺整合、项目管理、对外开拓、运营支持五大核心板块，提供合作研发、委托开发、资源共享、技术培训、材料与设备验证等服务，促进学术界与产业界、材料和设备厂商与半导体制造企业深度融合、协同创新，与生态伙伴一起推动半导体产业高水平、高质量发展。