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前瞻创新 从0到1 厚植产业 造福社会
创新点亮未来
国际一流研发验证平台
微纳平台正式运行于
2024
年
洁净室面积
6000
平方米
设备数量
165
台套
单步工艺
180
项
仪器设备
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单片清洗机(frame) (L3-TFCM-01)
晶圆键合机 (EVG 520IS)
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TGV 激光打孔设备 (L3-LTGV-01)
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2025
08-12
关于信息材料与微纳器件制备平台厂务系统酸碱排风洗涤塔维护保养部分设备停机的通知
尊敬的各位用户: 为保障平台厂务系统的稳 ...
2025
08-12
关于信息材料与微纳器件制备平台等离子增强原子层沉积更换腔体的通知
尊敬的各位用户: 为对等离子增强原子层沉积 ...
2025
07-29
关于信息材料与微纳器件制备平台等离子增强原子层沉积 R200 Adv增加收取材料费的通知
尊敬的各位用户: 由于目前等 ...
人才招聘
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2025-06-13
电镀工艺工程师
2025-06-13
光刻工艺助理工程师
2025-06-13
干法刻蚀工艺工程师
2025-06-13
助理研究员
2025-06-13
薄膜工艺工程师