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前瞻创新 从0到1 厚植产业 造福社会
创新点亮未来
国际一流研发验证平台
微纳平台正式运行于
2024
年
洁净室面积
6000
平方米
设备数量
165
台套
单步工艺
180
项
仪器设备
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扫描电子显微镜-02 (L1-SEM-03)
扫描电子显微镜 (L1-SEM-02)
套刻精度量测系统 (NAontoovl)
8英寸全自动匀胶显影系统 (NATEL)
KrF步进式扫描光刻机 (NAASMLL)
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面向CPO的异质异构集成工艺发展
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2025
09-26
关于微纳平台 2025 年国庆节放假安排的通知
尊敬的各位用户: 根据国家法定节假日安排, ...
2025
09-01
关于微纳平台预约网站停机维护的通知
尊敬的用户: 为进一步优化平台服务性能、 ...
2025
08-18
关于信息材料与微纳器件制备平台厂务系统酸碱排风洗涤塔维护保养部分设备停机的通知
尊敬的各位用户: 为保障平台厂务系统的稳 ...
人才招聘
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2025-06-13
电镀工艺工程师
2025-06-13
光刻工艺助理工程师
2025-06-13
干法刻蚀工艺工程师
2025-06-13
助理研究员
2025-06-13
薄膜工艺工程师