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前瞻创新 从0到1 厚植产业 造福社会
创新点亮未来
国际一流研发验证平台
微纳平台正式运行于
2024
年
洁净室面积
6000
平方米
设备数量
165
台套
单步工艺
180
项
仪器设备
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全自动化学机械抛光机 (L3-CMP-02)
全自动单片水洗机 (L3-Single-2-48)
快速退火炉(全自动) (2-28)
全自动高深宽比磁控溅射 (2-18)
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甬江实验室微纳平台8英寸验证线正式通线!
面向CPO的异质异构集成工艺发展
甬江实验室微纳平台亮相宁波第十五届智博会
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通知公告
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2025
12-01
关于微纳平台洁净室使用费自动扣款及门禁刷脸规范的通知
尊敬的各位客户: 微纳平台即日起启用洁净室场地费自动扣款( ...
2025
12-01
关于微纳平台激光打标机、反射膜厚仪等15台设备支持刷卡快速上下机的通知
尊敬的各位客户: 为进一步提升设备 ...
2025
12-01
关于微纳平台全芯微匀胶显影机进行维护升级的通知
尊敬的各位客户: 为保障平台设备性能稳定可靠,更好地 ...
人才招聘
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2025-06-13
电镀工艺工程师
2025-06-13
光刻工艺助理工程师
2025-06-13
干法刻蚀工艺工程师
2025-06-13
助理研究员
2025-06-13
薄膜工艺工程师