首页
平台概况
仪器设备
工艺平台
新闻中心
人才招聘
联系我们
下载中心
首页
平台概况
仪器设备
工艺平台
新闻中心
人才招聘
联系我们
下载中心
前瞻创新 从0到1 厚植产业 造福社会
创新点亮未来
国际一流研发验证平台
微纳平台正式运行于
2024
年
洁净室面积
6000
平方米
设备数量
165
台套
单步工艺
180
项
仪器设备
查看更多
全自动等离子体去胶机-Asher (L3-ASHE-02)
全自动等离子体去胶机-Descum (L3-ASHE-03)
半自动HF槽式刻蚀机 (L3-TANK-2-51-2)
全自动高精度划片机 (L3-)
全自动高精度减薄机 (001)
工艺平台
查看更多
异质异构集成工艺平台
微纳光学工艺平台
化合物半导体工艺平台
集成光子芯片工艺平台
微机电芯片(MEMS)工艺平台
用户登录
请登录系统
用户注册
|
提交注册审批
|
找回密码
服务流程
新闻动态
查看更多
【工艺展示】原子层沉积 | 原子级厚度控制与高深宽比共形镀膜
AI时代光电子器件与先进封装研讨会在甬江实验室举行
【新设备推介】AMAT全自动高深宽比磁控溅射 | 高端芯片互连金属化工艺
甬江实验室微纳平台亮相OSIC 2026,发布CPO集成工艺最新进展
通知公告
查看更多
2026
07-23
关于平台系统升级改造期间光罩(Mask)保管方式的通知
尊敬的各位用户: 您好! ...
2026
07-21
关于微纳平台设备暂停运行的通知
尊敬的各位客户: 因实验室电 ...
2026
07-15
关于微纳平台刻蚀区尾气处理设备进行维护的通知
尊敬的各位客户朋友: 为保障平台设备性能稳定可 ...
人才招聘
查看更多
2025-06-13
电镀工艺工程师
2025-06-13
光刻工艺助理工程师
2025-06-13
干法刻蚀工艺工程师
2025-06-13
助理研究员
2025-06-13
薄膜工艺工程师