招聘人数:1
岗位类型:应届校招
学历要求:硕士及以上
岗位职责
1、 负责微纳半导体器件制备光刻工艺的开发,包括涂胶,曝光,显影等工艺;
2、 负责光刻工艺实验设计并执行,并对工艺进行详细的表征,包括涂胶工艺参数,光刻曝光工艺参数,显影工艺参数,负责采集数据、数据分析,对工艺进行持续的优化、监控以及维护;
3、 制定工艺方法、操作流程和规范,建立相关的作业指导书与技术文件,指导和培养技术人员,撰写培训资料,对现场操作人员进行相关的基础培训、操作培训和考核;
4、 主导工艺在线异常根本原因分析,提出改进计划,解决方案,并主导解决方案的执行,导入,跟进;
5、 负责器件光罩图案(MASK)设计,Tape out, 光罩管理等;
6、 负责新设备(涂胶设备,曝光设备,显影设备,CD/overlay测量设备),新工艺,新物料(光刻胶,显影液等) 的调研,评估,论证,导入,验证等;
7、 对应不同的研发项目,负责制定项目对应的工艺研发计划,和长期的研发规划,及时与项目组对齐,保证项目研发进度;
8、 负责微纳器件制备技术光刻工艺需求调研、分析,文献综述等。总结、归纳当前状态,存在问题,提出创新性,可行性解决方案,并主导、跟进方案的实施;
9、 撰写学术论文,技术报告,将研究成果发表在相关领域的期刊上,将创新性成果申请专利。
岗位要求
1、 全日制硕士及以上学历、博士优先、材料、机械工程、物理,化学、电气,、电子,、微电子,微纳加工、半导体等相关专业;
2、 了解半导体微纳器件工艺开发及原理,熟悉半导体开发,制造,生产基础知识,5年以上微纳器件制备加工工艺开发经验,或5年以上Fab厂光刻工艺开发经验,有8寸或12寸工作经验优先;
3、 熟悉业界主流光刻涂胶,曝光,显影设备及其性能,具有丰富的光刻工艺研发工作经验,熟悉ASML、Nikon、Canon Scanner/Stepper, SUSS, EVG Aligner, TEL ACT8 Track, CDSEM、CD/Overlay 等光刻设备结构、操作等;
4、 熟悉光刻工艺的光罩图案设计,光罩制造,光罩管理;
5、 具有良好的逻辑分析能力、书面表达能力、人际沟通能力,PPT汇报,以及良好的英文阅读及书写能力;
6、 优秀的团队精神、交流能力,具备良好的沟通协调能力,积极主动,能与团队协同高效完成任务。