招聘人数:1
岗位类型:社招
学历要求:硕士及以上
岗位职责
1、负责半导体微纳半器件制备干法刻蚀工艺的开发,包括RIE、 ICP等离子体刻蚀工艺,Asher、plasma striper 等离子体清洗、去胶工艺,离子束(IBE)物理刻蚀工艺。;
2、负责干法刻蚀工艺实验设计并执行,负责采集数据、数据分析,对工艺参数进行持续的优化、监控以及维护;
3、制定工艺方法、操作流程和规范,建立相关的作业指导书与技术文件,指导技术人员,撰写培训资料,对现场操作人员进行相关的基础培训、操作培训和考核;
4、主导工艺在线异常根本原因分析,提出改进计划,解决方案,并主导解决方案的执行,导入,跟进;
5、负责新设备,新工艺,新物料,新特气的调研,评估,论证,导入,验证等;
6、对应不同的研发项目,负责制定项目对应的工艺研发计划,和长期的研发规划,及时与项目组对齐,保证项目研发进度;
7、负责微纳器件制备干法刻蚀、离子注入技术、工艺的需求调研、分析,文献综述等。总结、归纳当前状态,存在问题,提出创新性,可行性解决方案,并主导、跟进方案的实施;
8、撰写学术论文,技术报告,将研究成果发表在相关领域的期刊上,将创新性成果申请专利。
岗位要求
1、全日制硕士及以上学历,博士优先,材料,机械工程,物理,化学,微电子,微纳加工、半导体等相关专业;
2、了解半导体微纳器件工艺开发及原理,熟悉半导体开发,制造,生产基础知识,5年以上微纳器件制备工艺开发经验,或5年以上Fab厂干法刻蚀RIE、ICP、Asher,,离子注入工艺开发经验,有8寸或12寸工作经验优先;
3、熟悉业界主流干法刻蚀设备及其性能,具有丰富的干法刻蚀工艺研发工作经验,熟悉AMAT、SPTS、Lam Research、ULVAC、北方华创等供应商的RIE、ICP、Asher、离子注入设备结构、操作等;
4、具有良好的逻辑分析能力、书面表达能力、人际沟通能力,PPT汇报,以及良好的英文阅读及书写能力;
5、优秀的团队精神、交流能力,具备良好的沟通协调能力,积极主动,能与团队协同高效完成任务。