4月23日至25日，2025 九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会在武汉盛大举行。作为半导体领域的年度盛会，此次博览会吸引了来自全球的近 300 家领军企业及新锐厂商参展，展览面积达 2 万平方米，从材料、设备、制造到终端应用，实现产业链核心环节全覆盖。甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台（以下简称微纳平台）首次在本届展会精彩亮相，展示了甬江实验室在半导体领域的科研实力与创新成果。

甬江实验室微纳平台，是甬江实验室在电子信息材料与器件领域布局建设的重要公共科研支撑服务平台，也是甬江实验室迄今为止投入最大的平台。平台聚焦 “芯片异构集成” 与 “微纳光学” 两大方向，致力于成为支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、链接并赋能产研生态的开放共享科创服务平台。

在本次博览会上，甬江实验室微纳平台的展厅吸引了众多参会者驻足关注。展区重点展示了多款采用前沿工艺技术制备的晶圆产品，充分展现了微纳平台在半导体制造领域的技术实力与创新成果。例如，平台采用独特的材料生长工艺自主研发的超厚氧化硅（SiO₂）薄膜晶圆，以及掌握的高深宽比干法介质刻蚀技术，为高速光通信领域核心器件的制备提供了关键支撑。此外，展厅中展示的ITO透明导电薄膜同样引人注目。该薄膜采用平台自主开发的磁控溅射沉积技术制备，兼具优异的透光性、更高的载流子浓度与迁移率，为面向元宇宙应用的MicroLED器件研发提供了强有力的材料与工艺支撑。

除了产品展示，微纳平台还重点介绍了自身的基础设施和先进的工艺能力。平台位于宁波镇海甬江实验室创园，建筑面积12000㎡，其中洁净室面试6000㎡，已建成 6 英寸研发线和 8 英寸验证线各一条，配备了 165 台（套）高端精密设备。这些设备能够满足从材料制备到晶圆制造、器件封装、测试分析与可靠性验证的全流程服务需求。平台建立了完善的标准化工艺库，可满足不同芯片的研发需求，并开放给客户使用。

此次参展，微纳平台吸引了不少高校及企业的用户前来交流合作。来自国内多所知名高校的科研团队对微纳平台的工艺能力表现出浓厚兴趣，希望能够借助平台的先进设备和技术，开展前沿科研项目。一些企业用户则关注平台能否为其提供定制化的半导体解决方案，帮助企业提升产品竞争力。在展会期间，微纳平台与多家高校和企业达成了初步合作意向，未来将在科研项目合作、技术转移转化等方面展开深入交流。

甬江实验室微纳平台负责人钟飞表示，此次参加九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会，是展示平台科研实力和创新成果的重要契机，也是加强与国内外同行交流合作的良好平台。通过与高校、企业的深入沟通，微纳平台将进一步了解市场需求，优化自身的研发方向和服务内容，为推动半导体产业的发展贡献更多力量。

随着九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会的圆满结束，甬江实验室微纳平台在此次展会上的精彩表现也画上了句号。然而，微纳平台在半导体领域的探索与创新脚步不会停歇。未来，微纳平台将继续秉持开放共享的原则，不断提升自身的工艺技术水平和服务能力，为高校院所和企业提供强有力的关键基础设施、先进工艺开发与验证环境，加速科研成果转化为现实生产力，打通创新链、产业链上下游合作通道，形成良性互动的创新生态，在全球半导体产业的舞台上绽放更加耀眼的光芒。