2025 年 5 月 28 日甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台（以下简称微纳平台）举办了 “激光加工技术在微纳器件制备中的应用” 专题交流会。本次交流会聚焦 “激光加工” 主题，深入探讨了半导体领域中激光加工技术在微纳器件制备中的相关应用，吸引了行业内众多专业人士参与。

会议伊始，微纳平台负责人钟飞作为主持人进行了开场介绍，简要讲述举办本次交流会的初衷，作为省级实验室创建的共享开放的半导体器件加工平台，微纳平台身负推动国内半导体产业技术创新及促进产学研协同创新的责任，本次联合苏州德龙激光股份有限公司共同举办技术专题交流会，希望能打通 “基础研究 — 应用研发 — 产业转化” 链条，推动科研成果从实验室走向市场，助力半导体产业技术升级。

交流会首先由微纳平台研究员张瓦利率先做开场报告。张瓦利在微纳加工领域经验颇丰。他带来了《微纳加工中的激光隐形切割解决方案：材料、工艺与平台支撑》的报告，系统介绍微纳平台在激光加工领域的研究与能力建设，重点展示平台在多类晶圆材料（包括石英、硼硅玻璃、蓝宝石、铌酸锂和硅）上的激光隐形切割工艺能力，以及在TGV（Through Glass Via）通孔结构方面通过激光诱导改质+湿法刻蚀实现的高深宽比微孔加工方案。

随后，来自德龙激光的专家们依次带来精彩报告。该公司成立于 2005 年，专注于激光精细微加工领域，为各种超薄、超硬、脆性、柔性及各种复合材料提供激光加工解决方案。

德龙激光微加工技术负责人李军，在微加工领域钻研多年，有着深厚的技术积累和丰富的实践经验。他带来《激光在微加工领域的应用》报告，阐述了激光微加工技术的广泛应用场景与发展趋势，展现了激光技术在微加工层面的多样性与创新性。资深工艺专家张坚在玻璃加工技术领域造诣颇深，长期致力于相关工艺研究。他讲解了《玻璃通孔 (TGV) 技术》，深入剖析了该技术的原理与实践，为玻璃材料在微纳器件制备中的应用提供了技术思路。副总经理袁功书在激光技术产业化应用方面经验丰富，主导多项产品应用研发。他分享了《激光在 Micro LED 的相关应用》，展现了激光技术在 Micro LED 领域的创新应用与广阔前景，让参会者看到激光技术对新兴显示领域的推动作用。

紧接着，甬江实验室激光微纳制造与测量研究组研究员邓必为，在激光微纳制造相关研究上成果显著，有着深厚的学术积淀与技术创新能力。他作了《飞秒激光三维打印光子引线键合》的报告，介绍了飞秒激光三维打印光子引线键合的最新研究成果与技术突破，呈现了激光微纳制造领域的前沿探索。

最后是甬江实验室材料分析与检测平台的任杰博士进行分享。任杰在材料分析检测领域经验丰富，此前在相关项目中积累了大量实践经验，对先进检测技术与激光技术的关联有着深入理解。她作了《双束电镜在半导体材料与器件中的应用与飞秒激光技术介绍》的报告，分享了双束电镜技术与飞秒激光技术在半导体领域的前沿应用，从检测分析角度为激光加工技术应用提供了新的观察视角。 

此次专题交流会的成功举办，为激光加工技术在微纳器件制备领域的研究与应用提供了良好的交流平台，促进了行业内的技术交流与合作，对推动半导体领域的发展具有重要意义。