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前瞻创新 从0到1 厚植产业 造福社会
创新点亮未来
国际一流研发验证平台
微纳平台正式运行于
2024
年
洁净室面积
6000
平方米
设备数量
165
台套
单步工艺
180
项
仪器设备
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全自动等离子体增强化学气相沉积-SiH4-03 (L3-PCVD-04)
全自动等离子体增强化学气相沉积-TEOS-02 (L3-PCVD-03)
全自动等离子体增强化学气相沉积-SiH4-01 (L3-PCVD-02)
激光直写光刻机(灰度) (NARaith)
桌面匀胶机 (L3-coat-02)
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新闻动态
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5月29日宁波·AI时代光电子器件与先进封装研讨会启动报名
省科技厅党组书记佟桂莉一行来甬江实验室调研
省级平台,正式启动!甬江实验室牵头打造半导体知识产权新高地
甬江实验室微纳平台8英寸验证线正式通线!
通知公告
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2026
04-23
关于微纳平台牛津PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、华创-LPCVD(低压化学气相沉积)、ALD(等离子增强原子层沉积)及全自动化学机械抛光机等五台设备进行维护的通知
尊敬的各位客户朋友: 为保障平台设备性能 ...
2026
04-21
微纳平台KrF步进式扫描光刻机设备8寸转6寸的安排通知
为持续提升工艺能力与设备兼容性,平台计划于2026年4 ...
2026
04-15
关于微纳平台网站预约系统升级的意见征集通知
尊敬的甬江实验室微纳平台合作伙伴: ...
人才招聘
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2025-06-13
电镀工艺工程师
2025-06-13
光刻工艺助理工程师
2025-06-13
干法刻蚀工艺工程师
2025-06-13
助理研究员
2025-06-13
薄膜工艺工程师